EUV-резист

Технологии

IBM и Lam Research разрабатывают EUV-резист для микросхем меньше 1 нм

12 марта, 2026

IBM и Lam Research объявили о начале пятилетнего сотрудничества, направленного на создание передового EUV-резиста, который позволит изготавливать логические микросхемы с…